紫外臭氧清洗機(UVOzone Cleaner, UVO),是一種簡單,經(jīng)濟,快速高效的材料表面清洗設(shè)備,能快速去除大多數(shù)無機基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)表面上的有機污染物。
CIF紫外臭氧清洗機采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,樣品臺高度可調(diào)并可選配加熱控溫功能,以達到佳清洗效果。
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